KLayout

特点：开源光刻机编程软件，支持多种文件格式（如GDSII、OASIS等），具备布局设计、编辑、验证和导出等功能。提供强大的自动化功能，如脚本编程和批处理模式，使编程更加高效。

MaskShop

特点：专业光刻机编程软件，适用于半导体行业。具有直观的用户界面和丰富的功能，支持光刻层的编辑、优化和模拟。支持多种文件格式（如GDSII、OASIS和DXF等），便于与其他软件进行数据交换。

ProMAX

特点：适用于各种光刻机设备的强大编程软件，提供全面的功能（如图形编辑、处理和优化等），支持多种文件格式（如GDSII、OASIS和MEBES等），方便与其他软件进行数据交换和共享。

PyeCAD

特点：基于Python的光刻机编程软件，简洁易用，提供丰富的API和库，支持自定义编程和扩展。支持多种文件格式（如GDSII、OASIS和DXF等），便于与其他软件进行数据交换和集成。

PROLITH

特点：由KLA公司开发，用于模拟光刻胶在不同条件下的曝光和显影过程，研究不同配方光刻胶的特性，优化光刻胶的成分和性能参数，如感光度、分辨率等。

ProDATA

特点：由KLA公司开发，主要用于光刻工艺窗口分析。提供系统化、稳健的方式，通过快速、简便与准确分析实验数据，加速关键决策过程。主要应用于步进机验证、光刻工艺优化、光罩验证与验证、光刻设备监控数据分析、光刻胶性能分析等。

这些软件各有特点，适用于不同的光刻需求和场景。建议根据具体需求选择合适的软件进行使用。