可以使用以下几款软件制作表格文件：

WPS Office：

这是一款由金山软件公司出品的免费办公软件，支持文字处理、表格制作和分析等功能，适用于电脑、手机和平板设备，兼容多种格式。

Microsoft Excel：

这是微软公司开发的一款电子表格软件，广泛应用于数据整理、统计、分析和展示，支持多种数据处理和图表类型。

Google Sheets：

这是一款基于云端的表格制作软件，用户可以通过浏览器访问并在任何设备上使用，具有强大的协作功能，支持多人同时编辑同一个文档。

Excel易用宝：

由Excel Home开发的Excel功能扩展插件，支持32位及64位的Excel和WPS多个版本，提供聚光灯、域的行和列、多个工作簿多工作表合并、数据转换、显示设置等经典功能。

方方格子工具箱：

国内团队开发的免费Excel功能插件，支持32位和64位Office，支持Excel2007至2019、365各版本，具有聚光灯、批量提取数字、汉字、字母、符号，多个工作簿和表格合并转换，重复值工具，数据对比，高级排序，宏收纳箱等功能。

VeryReport：

功能强大的表格制作软件，支持零代码、拖拽式设计，常见数据源和数据库，以及API接口，适合创建复杂的报表和数据分析。

FineReport：

企业级报表工具，适用于各行各业，能够实现数据整合、数据分析和数据可视化，支持多种输出格式。

Airtable：

这是一款结合数据库和电子表格的云服务软件，提供可视化的数据管理和协作功能，适合需要高效管理数据的项目。

根据具体需求和偏好，可以选择合适的软件来制作表格文件。例如，对于需要团队协作和云端同步的用户，Google Sheets是一个很好的选择；对于需要更多功能和扩展插件的用户，可以考虑Excel易用宝或方方格子工具箱；而对于需要处理复杂报表和数据分析的用户，VeryReport和FineReport可能更适合。